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大族激光:目前公司生产的光刻机是完全自主研发

更新时间:2023-02-07 11:09

  大族激光2月1日在投资者互动平台表示,目前,公司生产的光刻机是完全自主研发,主要应用在分立器件领域,分辨率3-5μm。