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　　东吴证券表示看好自主可控趋势下，设备&零部件国产替代加速。1）先进逻辑/存储厂商持续扩产，叠加先进制程设备继续突破放量，看好逻辑&存储厂商扩产带来半导体设备&零部件需求上升；2）国产半导体设备商均开启平台化布局，北方华创、中微公司、拓荆科技、盛美上海均有全新品类设备亮相，看好半导体设备公司平台化加速，不断拓宽产品种类打造一体化解决方案；3）半导体设备国产化率仍有较大空间，看好半导体设备公司差异化竞争，国产替代逻辑仍然生效；4）受益于AI芯片浪潮加速，看好下游封测设备起量，特别是测试设备国产化进程顺利，有望实现国产化替代放量。

　　半导体产业ETF紧密跟踪中证半导体产业指数，中证半导体产业指数从上市公司中，选取不超过40只业务涉及半导体材料、设备和应用等相关领域的上市公司证券作为指数样本，以反映半导体核心产业上市公司证券的整体表现。

　　规模方面，半导体产业ETF最新规模达1.87亿元，创近1月新高。

　　份额方面，半导体产业ETF最新份额达1.32亿份，创近1月新高。

　　从资金净流入方面来看，半导体产业ETF近3天获得连续资金净流入，最高单日获得1499.32万元净流入，合计“吸金”3432.29万元，日均净流入达1144.10万元。

　　截至5月13日，半导体产业ETF近1年净值上涨42.20%，指数股票型基金排名107/2789，居于前3.84%。从收益能力看，截至2025年5月13日，半导体产业ETF自成立以来，最高单月回报为20.82%，最长连涨月数为3个月，最长连涨涨幅为45.46%，涨跌月数比为7/5，上涨月份平均收益率为9.32%，历史持有1年盈利概率为100.00%。截至2025年5月13日，半导体产业ETF成立以来超越基准年化收益为1.67%。

　　截至2025年5月9日，半导体产业ETF成立以来夏普比率为1.19。

　　回撤方面，截至2025年5月13日，半导体产业ETF今年以来相对基准回撤0.48%。

　　费率方面，半导体产业ETF管理费率为0.50%，托管费率为0.10%，费率在可比基金中最低。

　　跟踪精度方面，截至2025年5月13日，半导体产业ETF近1年跟踪误差为0.056%，在可比基金中跟踪精度最高。